2007-06-27 ■ 日記 今日もクリーンルームに入った。 会社のクリーンルームはクラス10,000、クラス1,000、クラス100の三種類。 クラスっていうのは一定体積の中にあるサイズの塵がいくつ入ってるかを示すらしい。 つまりクラス100っていうのは塵が百個ってこと。 クラス100のクリーンルームはSiウェハーにフォトマスクを付けたりする場所。